超純水（也稱為高純水、超純凈水或純化水）是通過一系列特殊工藝處理普通水，去除幾乎所有的雜質(zhì)和溶解性物質(zhì)，使其純度極高。以下是通常用于制備超純水的主要工藝流程：

原水供應(yīng)：從自來水源或其他水源獲取原水。這些水源中通常含有溶解性固體、微生物、有機(jī)物、溶解氣體等雜質(zhì)。

預(yù)處理：原水經(jīng)過預(yù)處理步驟，去除其中的懸浮顆粒、氯、有機(jī)物等。預(yù)處理通常包括顆粒過濾、活性炭吸附和消毒等步驟。

反滲透（RO）：預(yù)處理后的水被送入反滲透膜過濾系統(tǒng)。RO是超濾技術(shù)的一種，利用半透膜來過濾水中的溶解性固體和離子。這個(gè)步驟能有效去除大部分離子、細(xì)菌、病毒、有機(jī)物和大多數(shù)溶解性固體。

離子交換（DI）：RO處理后的水通常還包含少量的離子和有機(jī)物。為了進(jìn)一步提高水的純度，水會(huì)通過離子交換樹脂床，去除殘留的離子和其他雜質(zhì)。這一步驟產(chǎn)生的水通常稱為去離子水（DI水）。

消毒：為確保水的終端使用安全，最后一步通常是對水進(jìn)行消毒，去除可能的微生物污染。常見的消毒方法包括紫外線輻射、臭氧處理或使用消毒劑（例如過氧化氫）。

精確控制：整個(gè)制備過程需要進(jìn)行嚴(yán)格的控制和監(jiān)測，以確保水的質(zhì)量穩(wěn)定，并且符合特定的應(yīng)用要求。

請注意，制備超純水的工藝流程可能因不同的應(yīng)用和設(shè)備而有所變化，而上述流程是一種常見的工藝流程。實(shí)際的超純水制備過程可能會(huì)根據(jù)需求進(jìn)行調(diào)整和優(yōu)化，以滿足特定的純水要求。