工業用超純水設備通常需要滿足高效、穩定、可靠、安全等要求，并能夠適應復雜的工業環境和各種水質條件。以下是一些常見的工業用超純水設備：

離子交換純水設備：這種設備主要通過離子交換工藝去除水中的離子雜質，從而獲得高純度水。它通常包括預處理、離子交換、混床等環節，能夠滿足工業上大量、長時間的需求。

反滲透純水設備：這種設備主要采用反滲透工藝，通過過濾、膜分離等方法去除水中的雜質和離子，從而獲得高純度水。它具有高效、節能、低成本的優點，廣泛應用于電力、化工、制藥、半導體等領域。

納濾超純水設備：這種設備主要采用納濾工藝，通過分子篩選、高壓過濾等方法去除水中的細菌、病毒、有機物等微量雜質，從而獲得高純度、超凈的水。它廣泛應用于醫藥、食品、化妝品等行業。

紫外消毒超純水設備：這種設備主要采用紫外線消毒技術，通過紫外線輻射殺滅水中的細菌、病毒等微生物，從而獲得高純度、無菌的水。它廣泛應用于制藥、食品、飲料等行業。

以上是常見的工業用超純水設備，實際使用時需根據不同工業領域和水質要求選擇合適的設備。