原水：可以用自來水、蒸餾水、普通純凈水等作為超純水機的原水。

機械過濾：通過濾芯進行初步的過濾，將鐵銹以及大部分大型的漂浮物進行過濾。

活性炭過濾：該濾芯是一種很強的吸附性濾芯，可以吸附水中的其他成分，以及吸附細菌以及某些金屬殘渣。余氯可能會導致反滲透膜損壞，所以要盡可能的去除。

反滲透膜：可過濾水中百分之99以上的雜質，以及顆粒化合物，包括膠體以及微粒等病毒。由于絕大多數的離子都去除了，使得離子交換水質能夠更加輕松，使用壽命更長。

反滲透膜的過濾：

　　紫外線消解：是通過雙波長紫外消解儀對水中的細菌以及熱源等有機物進行消解，以及將甲醇或乙醇等轉化為水，大大降低了有機碳含量，達到無菌水的要求。

終端微濾技術：可以去除水中的顆粒物，從而達到能夠將純水凈化為超純水的地步，滿足高精密儀器，分析儀器的測量用水需求。

離子交換樹脂：采用離子混合交換的方式去除水中的離子數，大大降低水中的電導率，采用核子級交換樹脂，能夠快速滿足水質特水需求。